EXC100L
| 全陶瓷制 直线电机驱动 超精密线切割放电加工机 EXC100L   实现10纳米的最小驱动单位。因追求NANO而进化的超精密机床。 EXC100L不仅采用了本社制造的气压轴承“陶瓷制空气滑块”和直线电机驱动，并且世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺，实现最小驱动单位10纳米，并维持稳定的超精密加工。 | |  |
| 产品特征 | | 产品规格 | | 加工样品 | |
产品特征 |
| 实现工作台最小驱动10纳米 通过采用本社制造的陶瓷制空气滑块和直线电机，世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺，实现工作台最小驱动单位10纳米。 标准搭载高性能加工液冷却装置 通过标准搭载高性能加工液冷却装置，维持稳定的超精密加工。 主要构造采用陶瓷 由于采用直线电机驱动方式，无需使用滚珠丝杠，避免了传送机构部件产生扭曲或磨损。此外，通过在主要构造材料中采用陶瓷材质，保证了长期稳定的高精度。 |
产品规格 |
| 各轴行程 X×Y×Z(mm) | 100 × 120 × 100 |
| U×V轴行程(mm) | 20 × 20 |
| 锥度加工控制角度 | ±6°(板厚：60mm) |
| 最大工件尺寸 宽×长×高(mm) | 150 × 150 × 60 |
| 最大工件质量(kg) | 10（包括夹具等） |
| 机床主体尺寸 宽×长×高(mm) | 2280 × 1830 × 1990 |
加工样品 |
使用φ0.02极细丝的微细齿轮加工
直线电机带来的伺服高响应性使齿轮的高精度加工成为可能。
极细丝实现的纤维喷嘴加工
使用φ0.03极细丝的纤维喷嘴加工（下孔φ0.065mm）。
极细丝实现的螺旋状加工
使用φ0.03的极细丝加工螺旋状的零部件。
直线电机带来的伺服高响应性使齿轮的高精度加工成为可能。
 | | 电极丝直径φ0.02工件材质G5(超硬)工件板厚6mm模块0.026加工面粗糙度0.70μmRz加工时间1小时15分加工液油 |
极细丝实现的纤维喷嘴加工
使用φ0.03极细丝的纤维喷嘴加工（下孔φ0.065mm）。
 | | 电极丝直径φ0.03工件材质SUS材料工件板厚0.8mm沟宽0.060、0.100mm加工面粗糙度0.60μmRz加工时间１孔6分、30分加工液? |
极细丝实现的螺旋状加工
使用φ0.03的极细丝加工螺旋状的零部件。
 | | 电极丝直径φ0.03工件材质铜工件板厚1.3mm加工面粗糙度0.80μmRz加工时间2小时13分加工液油 |
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